“來吧!說幹就幹,咱們要自信,要大膽。”
理解了大概意思的白經理,擼起了袖子。
“先把這些裝備連在一起,真空泵和排氣管遞給我!”
白經理輕聲的說道,接過工具。
“這裏是這麼安的嗎?
你別弄錯了!”
吳經理檢查着一處接口,他怎麼看都覺得有點問題。
“那你覺得呢?
這裏應該怎麼弄啊!聽你這麼一說,我也覺得有點不得勁了。”
白經理一邊說,一邊擺弄了幾下。
咔吧!
儀器發出了聲音,隨即開始運行!
“誒!這不就成了嗎。
機器這東西還能自己動誒。”
吳經理用肩膀撞了一下白經理,高興的說道,沒想到,這麼快就開始了。
機器裏的氣體越來越多,直到充滿了整個圓罩子裏,兩人坐在一旁,目不轉睛的觀察着。
不知大概過了多久,張明瑞才悠悠轉醒,果然,在實驗室裏休息,才能不在意那麼多東西。
“怎麼樣了?”
張明瑞一睜眼睛,就看見兩個大男人,貼着容器專注的盯着。
“你醒了?
現在在進行第二代薄膜,就那個,什麼系統來着?”
白經理迴應着,說着說着,竟然一時矇住了,沒想起來那個詞。
“低壓化學氣相澱積系統。”
吳經理淡淡的回答了一句,他還在關心着薄膜。
“進行多久了!這個可不能反應太久的。”
張明瑞一聽,有些着急了,他怎麼也想不到,這兩人會趁着他睡着,提前進行下去。
“就……剛,二十分鐘。”
白經理弱弱的說了一句,他不知道爲什麼張明瑞反應這麼大,就像他們做錯了一樣。”
得到答案後,張明瑞看了一眼容器裏面的硅晶體,果斷的拔掉了機器電線。
“滋滋滋……”
機器發出了刺耳的聲音,氣體被收了回去,組裝好的零件,也各自散開!
氣體漸漸消失,容器內變的清晰可見,不似剛剛那般模糊了。
張明瑞鬆了一口氣,還好趕上了。
“啊!咋回事啊!咋滴了!”
吳經理因剛纔太過靠近,而被這滋滋聲嚇了一跳,還以爲要爆炸了。
“這個低壓化學氣相澱積系統是有時間限制的,也就是說,時間長了,這個薄膜會變厚,時間短了,薄膜不達標。”
“根據理論測試,這個時間就被定義在了二十一分鐘以內,剛剛白大哥說大概二十一分鐘了,我這不着急嗎,就趕緊拔電源了。”
張明瑞解釋着,暗自慶幸,開始找儀器,觀察測量薄膜上的厚度。
“原來是這樣啊!要不是你醒來的及時,我們倆就幫倒忙了啊!”
吳經理撓着後腦勺,有些不好意思,他倆的自作主張,差一點就把這件事搞砸了!好不容易努力到現在,要是真搞砸了,恐怕他倆得哭死。
“還不錯,時間拿捏的剛剛好,真是多一分太多,少一分不行啊!”
張明瑞放下儀器,露出了完美的笑容。
這真的是太幸運了。
“通過二極濺射中一個平行於靶表面的封閉磁場,和靶表面上形成的正交電磁場。”
“把二次電子束縛在靶表面特定區域,實現高離子密度和高能量的電離,把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。”
“原理上大概就是這樣,一會兒操控的時候,你們離遠一點,必要的時候給我遞過來一些工具。”
“磁控濺射臺操作起來,會比較危險,所以你們在旁邊觀看就行,保護好自己別受傷。”
張明瑞淡淡的說道,距離成功只差兩步了,所以他要早點行動,提前完成進度,這個假期已經沒有多長時間了。
“好!那你要小心,有什麼東西需要我們拿的就吱一聲。”
吳經理知道他們是愛莫能助,便將白經理拉倒一旁觀看着。
張明瑞將芯片小心翼翼的轉移到磁控濺射臺上,擰開氣閥門,將所有氣體迅速放出,開腔放入基片,隨即關上氣閥門。
“一抽三衝,這是關鍵,你們好好看!”
張明瑞嚴肅的跟那倆人說道,隨即展開一系列操作。
“所謂一抽三衝,指的就是,打開進氣閥,把氧氣的流量儀直接打到關閉。”
張明瑞一邊說着,一邊操作,沒有一絲疏漏的完成了一抽三衝。
“最後一點,要切記關閉旁抽,這是很重要的。”
張明瑞說着,那兩人在旁邊瘋狂點頭。
“現在打開電磁閘,開始準備濺射。
在對一個芯片濺射之前,我們要完成預濺射。”
張明瑞開始操作,每一步都處理的非常清晰,兩個人都一絲不苟的觀察着,學習着。
“降低加熱器襯底至標刻度19cm以下,將樣品轉到右靶,找到合適的位置,開始計時。”
整個實驗室安靜的只剩張明瑞自信有力的說話聲,張明瑞一邊給兩人講解,一邊操作,還要騰出一隻手來握着秒錶。
如果這個實驗只有張明瑞自己一個人來實施的話,或許進度會提高一點,但和這兩位經理一起,也不是壞事,這樣他研製成功後,這兩人也可以模擬了。
“右靶濺射完畢,調到左靶繼續濺射,步驟和剛剛都是一樣的。”
張明瑞簡單的說了一句就開始專心計時了。
大概過了十分鐘之久,芯片完成了濺射,薄膜逐漸形成,已經肉眼可見。
“吳大哥,你過來幫我把芯片挪走,我現在要關閉一起。”
張明瑞招呼着吳經理,手一臺一落,調節着頻率,動作乾脆利落。
“關閉儀器也很重要,從上至下,依次關閉,流量計,閘板閥,分子泵要打到關閉,大概需要十分鐘。”
“當冷卻時間足夠時,才能依次關閉分子泵電源和電磁閘,最後一步纔是總電源。”
“關閉儀器的時候,一定要小心謹慎,不能一步出錯,否則很容易引起機械故障發生爆炸。”
張明瑞語重心長的說道,似乎又想起了什麼往事。
搞科研的危險性,和隨時面臨着犧牲的精神,大概是很多人所抗拒的,這也是爲什麼在這個年代,搞科研的人越來越少的原因。